詳細(xì)介紹SMC SFA100-02潔凈氣體過(guò)濾器，它屬于 SFA100/200/300 系列的濾芯可更換盤式過(guò)濾器，常用于半導(dǎo)體、電子潔凈室等對(duì)氣體純度要求高的場(chǎng)景。

核心規(guī)格

適用介質(zhì)：壓縮空氣、氮?dú)猓?/p>

過(guò)濾精度與效率：0.01 μm，過(guò)濾效率達(dá) 99.99%，濾材為 PTFE 膜；

額定流量：26 L/min（ANR）；

連接方式：Rc 1/4 內(nèi)螺紋（02 對(duì)應(yīng) 1/4 口徑）；

外形尺寸：高度 A=46 mm，直徑 ΦB=76 mm；

工作壓力：高 0.99 MPa，可用于超高真空（1.3×10?? kPa）；

工作溫度：5~80°C；

材質(zhì)：器身是電解研磨的 SUS316 不銹鋼，密封件為氟橡膠（FKM）；

包裝：防靜電雙層密封包裝，滿足潔凈環(huán)境開箱要求。

結(jié)構(gòu)與特點(diǎn)

采用可更換 PTFE 膜片濾芯，維護(hù)成本低；

316 不銹鋼電解研磨外殼，流道光滑，避免顆粒滯留；

整體結(jié)構(gòu)緊湊，盤式設(shè)計(jì)節(jié)省安裝空間；

嚴(yán)禁反向安裝，濾芯耐壓差 0.1 MPa，耐逆壓 0.05 MPa。

應(yīng)用場(chǎng)景

1 主要用于半導(dǎo)體晶圓制造、液晶面板產(chǎn)線、生物制藥潔凈室、精密分析儀器的載氣 / 吹掃氣終端精過(guò)濾，去除氣體中微量亞微米級(jí)顆粒。

2 安裝與維護(hù)要點(diǎn)

3 必須在潔凈環(huán)境中開箱，避免污染；

4 安裝前需沖洗管路，防止管道雜質(zhì)損傷濾芯；

5 區(qū)分 IN/OUT 方向，嚴(yán)禁反接；

6 濾芯建議 1 年更換，或當(dāng)壓降達(dá)到 0.1 MPa 時(shí)立即更換；

7 配套干燥器、除霧過(guò)濾器使用，避免油氣、水分進(jìn)入影響壽命。

供貨型號(hào)：

SFA100-02

SFA101-02

SFA102-02

SFA103-02

SFA200-02

SFA201-02

SFA202-02

SFA203-02

SFA300-02

SFA301-02

SFA302-02

SFA303-02

SFB100-02

SFB100-02X8

SFB101-02

SFB102-02

SFB103-02

SFB104-M5

SFB300-02

SFB302-02

SFB305-02

SFB315-02

SFC100-02

SFC100-03

SFC102-02

SFC102-03

SFC105-02

SFC105-03