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潔凈氣體過濾器
簡要描述：●內(nèi)置中空濾芯,潔凈氣體過濾器●壓力下降：0.03MPa(入口壓0.7MPa、最大流量時)●對應RoHS指令(限制有害成分)
產(chǎn)品型號： SFD101-F02
所屬分類：SMC過濾器
更新時間：2026-03-10
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
核心規(guī)格
適用介質(zhì)：壓縮空氣、氮氣（氮氣高 0.99 MPa）；
過濾性能：0.01 μm 精度，顆粒捕捉效率 99.99%；中空纖維膜濾芯；初期壓降 0.03 MPa（入口 0.7 MPa、大流量）；
額定流量：100 L/min（ANR）；
連接口徑：02 對應 Rc 1/4 內(nèi)螺紋（N02=F02 分別對應 NPT1/4、G1/4）；
工作壓力 / 溫度：20°C 時高 1.0 MPa；工作溫度 5~45°C；
材質(zhì)：透明聚碳酸酯外殼（便于觀察污染），O 形圈為 H-NBR；可選鋁殼 / 不銹鋼殼用于化學環(huán)境；
更換周期：建議 1 年，或壓降達到 0.1 MPa 立即更換；符合 RoHS 標準；防靜電潔凈包裝。
結構與突出特點
卡盤式可更換濾芯設計，維護便捷；透明外殼無需拆卸即可判斷濾芯臟污；
中空纖維膜比傳統(tǒng) PTFE 平膜過濾面積更大、容塵量高，壓降更穩(wěn)定；
低發(fā)塵材質(zhì)，適合 Class 1~100 級潔凈室；嚴禁反向安裝；
可配 SFD-BR100 支架，便于面板 / 管路固定；有樹脂 / 鋁 / 不銹鋼三種殼體可選。
應用場景
半導體晶圓蝕刻 / 沉積腔室吹氣、液晶面板靜電消除器氣源、潔凈室吹掃；
生物醫(yī)療、精密分析儀器的載氣 / 保護氣終端過濾；
要求極低顆粒數(shù)的自動化設備吹氣系統(tǒng)。
安裝與維護要點
潔凈環(huán)境開箱，避免包裝外粉塵進入；安裝前沖洗上游管路；
嚴格區(qū)分 IN/OUT 流向，嚴禁反接，否則過濾失效且損傷濾芯；
濾芯耐壓差 0.1 MPa；避免油霧、液態(tài)水直接進入，建議前置干燥 / 除油霧過濾器；
更換濾芯時，避免用手直接接觸濾材；金屬殼體版本適合有溶劑 / 化學品的惡劣環(huán)境。
供貨型號：
SFD100-N02C04
SFD100-N02C04B
SFD100-N02C06
SFD100-N02C06B
SFD100-N02C08
SFD100-N02C08B
SFD101-02
SFD101-F02
SFD101-N02
SFD102-02
SFD102-F02
SFD102-N02
SFD110-02
SFD110-02B
SFD110-C04
SFD110-C04B
SFD110-C06
SFD110-C06B
SFD110-C08
SFD110-C08B
SFD110-F02
SFD110-F02B
SFD110-N02
SFD110-N02B
SFD200-02
SFD200-02C08
SFD200-02C10
SFD200-02C12
SFD200-C08
SFD200-C0802
SFD200-C08C10
SFD200-C08F02
SFD200-C08N02
SFD200-C10
SFD200-C1002
SFD200-C10C08
SFD200-C10C12
SFD200-C10F02
SFD200-C10N02
SFD200-C12
SFD200-C1202
SFD200-C12C10
SFD200-C12F02
SFD200-C12N02
SFD200-F02
SFD200-F02C08
SFD200-F02C10
SFD200-F02C12
SFD200-N02C08
SFD200-N02C10
SFD200-N02C12
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